真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時，真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我公司基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準(zhǔn)確性。

漏電電流的處理

對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時，會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。